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| 제목 | 신소재공학과 박막소자연구실, 한국반도체학술대회(KCS 2024)에서 SK하이닉스 논문상 수상 | 날짜 | 2025-02-24 | 조회수 | 131 |
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| 작성자 | 신소재공학과 | ||||
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2024년 1월 24일 ~ 26일 열린 제 31회 한국반도체학술대회(KCS 2024)에서 신소재공학과 박막소자연구실(지도교수 한정환)의 이재현(일반대학원 석사과정)이 SK하이닉스 논문상을 수상하였습니다.
석사과정 이재현은 "Fabrication of MoO2 Electrode by Thermal Atomic Deposition for High-performance TiO2-d DRAM capacitors"의 연구에서 ALD를 이용하여 안정적으로 MoO2 박막 전극을 제작할 수 있는 공정을 개발하였으며, 이를 통해 DRAM 커패시터 소자의 특성 향상 효과를 보고하였습니다.
반도체학술대회는 1994년부터 시작되어 반도체 최신 연구 결과와 성장 방향성을 공유하는 국내 최대 규모의 반도체학술행사입니다. |
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신소재공학과 오승탁 교수, 과학기술정보통신부장관 표창장 수상 |
