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제목 신소재공학과 박막소자연구실 ‘2022한국전기전자재료학회 하계학술대회(KIEEME 2022)학부생 경진대회에서 최우수상, 우수상, 장려상 동시 수상 날짜 2022-06-28 조회수 260
작성자 관리자
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신소재공학과 박막소자연구실(지도교수: 한정환 교수) 소속 연구원인 이재현(신소재공학과 학석사 연계과정), 장희원(신소재공학과 학사과정), 윤필주(신소재공학과 학사과정), 김재연(신소재공학과 학사과정) 그리고 조원호(신소재공학과 학사과정)이 지난 6월 22일~ 6월 24일 평창 알펜시아리조트에서 개최되었던 한국전기전자재료학회 하계학술대회(KIEEME 2022)에서 각각 학부생경진대회 부문 최우수상(이재현), 우수상(장희원)과 장려상(윤필주, 김재연, 조원호)을 수상하였다.

 

 

 

 

  

 

 

 

 

1987년 설립된 한국전기전자재료학회는 전기전자재료 분야 산학연 전문가의 논문 발표와 토론을 통해 학문 및 산업의 발달과 국가 경제성장 발전에 기여하고 있으며, 학술대회를 주관하여 국내 전기전자재료 연구 개발의 최신 동향을 발표하고, 첨단 기술에 대해 학습할 수 있는 기회를 제공하고 있다.

 
 
 
  
 
 

학부과정 장희원은 "Effect of HfO2 or ZrO2 Sub- on the Growth characteristics of Atomic--Deposited SnO Film"의 연구에서 ALD로 성장시킨 HfO2와 ZrO2 sub 위에서의 SnO 박막 성장 거동과 이를 적용한 SnO Thin Film Transistor의 전기적 특성을 분석하였다. 이 연구는 같은 연구실의 석사과정 김진아 학생의 도움을 받아 수행하였다.

 
 
 
  
 
 

학부과정 이재현은 “Phase engineering and film characteristics of RF magnetron sputtered MoO2 thin films”를 주제로 하여 RF magnetron sputtering을 통해 MoO2

를 증착할 수 있는 조건을 확보하였고, 여러 조건에서 증착한 MoO2의 특성을 비교하였으며, 이를 capacitor 소자에 적용하고 전기적 특성을 평가하여, 차세대 capacitor의 electrode 로서의 적용 가능성을 제시하였다. 이 연구는 같은 연구실의 박사과정 강완구 학생의 도움을 받아 수행하였다.

 
 
 
 
 
 
 
학부과정 윤필주는 “Improved Ga2O3 growth characteristics using three-step atomic deposition using newly synthesized Ga precursor”를 주제로 하여 신규 Ga 전구체의 ALD 공정 개발 및 이를 통해 증착한 Ga2O3 박막의 특성을 분석하였고, 이를 Three-step ALD로 발전시켜 더 나은 박막 성장 거동을 나타내는 ALD 공정을 개발하였다. 이 연구는 같은 연구실의 석사과정 조현희 학생의 도움을 받아 수행하였다.
 
 
 
 
 
 
학부과정 조원호는 “Hollow Cathode Plasma Atomic Deposition of NbN Film Using Novel Nb Precursor for Advanced Interconnect Application”를 주제로 하여 Hollow Cathode Plasma ALD를 통해 성장시킨 Niobium nitride 박막의 성장거동 및 증착조건을 확보하였다. 또한 박막의 조성, 결정성, 전기적 특성과 같은 박막특성을 분석하였다. 이 연구는 같은 연구실의 박사과정 강완구 학생의 도움을 받아 수행하였다.
 
 
 
 
 
 
학부과정 김재연은 “Growth and Film Characteristic of Ultrathin(<5nm) Ruthenium Film deposited by Atomic Deposition”를 주제로 하여 새로운 Ru 전구체 TRuST를 이용하여 ALD 증착 조건을 확보하였고, 암모니아 플라즈마 전처리를 통하여 수 nm에서의 박막 성장률 향상 및 비저항 개선 효과를 얻음으로써 차세대 배선 물질로의 Ruthenium 적용 가능성을 제시하였다. 이 연구는 같은 연구실의 졸업생 고은총 학생의 도움을 받아 수행하였다.

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