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제목 신소재공학과 박막소자연구실, ‘2021한국전기전자재료학회 하계학술대회(KIEEME 2021)’ 에서 최우수 발표상 수상 날짜 2021-07-12 조회수 274
작성자 관리자
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신소재공학과 박막소자연구실(지도교수: 한정환 교수) 소속 연구원인 안지상(신소재공학과 일반대학원 석사과정), 이재현(신소재공학과 학사과정)이 지난 6월 30일~7월 2일 평창 알펜시아리조트에서 개최되었던 한국전기전자재료학회 하계학술대회(KIEEME 2021)에서 반도체 재료•공정 부문 poster session 최우수 발표상을 수상하였다.

 

 

1987년 설립된 한국전기전자재료학회는 지난 2015년부터 학술대회를 주관하여 국내 전기전자재료 연구 개발의 최신 동향을 발표하고 첨단 기술에 대해 학습할 수 있는 기회를 제공해왔다.

 

 

 

 

 

 

▲(왼쪽부터)안지상, 이재현

 

 

석사과정 안지상은 “Atomic Deposited Molybdenum Carbide Thin Films Using F-free Precursor and H2 and Its Cu Diffusion Barrier Application”의 연구에서 ALD로 성장시킨 molybdenum carbide 박막 증착 공정 확보 및 박막의 전기적 특성 향상을 보고하였으며, Copper diffusion barrier 적용 평가를 통하여 차세대 배선 소재의 확산방지막 적용 가능성을 제시하였다.

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