2024년 10월 31~11월 1일 강원도 알펜시아 에서 개최되었던 2024 한국전기전자재료학회 추계학술대회에서 신소재공학과 박막소자연구실(지도교수: 한정환 교수) 소속 연구원인 석사과정 주은지 학생이 최우수포스터상, 학사과정 한정민 학생이 학부생 경진대회 우수상, 학사과정 김민석, 이현학 학생이 학부생 경진대회 장려상을 수상하였다.

1987년 설립된 한국전기전자재료학회는 전기전자재료 분야 산학연 전문가의 논문 발표와 토론을 통해 학문 및 산업의 발달과 국가 경제성장 발전에 기여하고 있으며, 학술대회를 주관하여 국내 전기전자재료 연구 개발의 최신 동향을 발표하고, 첨단 기술에 대해 학습할 수 있는 기회를 제공하고 있다.

석사과정 주은지는 "Study on the Etching Behavior of Ruthenium Thin Films using Thermal Atomic Etching" 연구에서 공정 변수에 따른 루테늄 박막의 에칭 거동에 대해 연구하고, Ru thermal ALE 공정 조건을 확보하였으며, 이를 통해 Ru ALE 박막의 전기적 특성 및 표면 특성과 3차원 구조로의 적용 가능성을 평가하였다. 이 연구는 같은 연구실의 박사과정 이재현 학생의 도움을 받아 수행하였다.

학사과정 김민석은 "Area-Selective Atomic Deposition of Molybdenum Carbide for Next-Generation BEOL Process" 연구에서 MoCx thermal ALD 공정 조건을 확보하고 MoCx 박막의 화학적, 전기적 및 표면 특성과 선택도을 평가하였다. 이 연구는 같은 연구실의 박사과정 안지상 학생의 도움을 받아 수행하였다.

 

 

학사과정 이현학은 "고효율 페로브스카이트 탠덤 태양전지 제작을 위한 ALD SnO 정공 수송층 공정 개발 연구"에서 p-type SnO ALD 공정 조건을 확보하고, 온도별 SnO 박막의 표면 특성 및 광학적, 전기적 특성을 평가하였다. 이 연구는 같은 연구실의 석사과정 윤필주 학생의 도움을 받아 수행하였다.