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제목 신소재공학과 박막소자연구실, 한국전기전자재료학회(KIEEME 2020)에서 우수논문상 수상 날짜 2020-07-09 조회수 259
작성자 고은총
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서울과학기술대학교 신소재공학과 박막소자연구실(지도교수 : 한정환 교수)의 채명길(신소재공학과 일반대학원 석사과정)과 김진아(신소재공학과 학사과정)가 지난 7월 8-10일 휘닉스 평창에서 개최되었던 한국전기전자재료학회 하계학술대회(KIEEME 2020) 반도체 재료•공정 부문 poster session(채명길), 학부생경진대회(김진아) 우수 논문상을 수상하였다. 1987년 설립된 한국전기전자재료학회는 지난 2015년부터 학술대회를 주관하여 국내 전기전자재료 연구 개발의 최신 동향을 발표하고 첨단 기술에 대해 학습할 수 있는 기회를 제공해왔다.

석사과정 채명길은 “High-Mobility P-Channel Thin Film Transistor With Atomic-Layer-Deposited SnO Channel Layer”의 연구에서 ALD로 성장시킨 SnO를 박막 트랜지스터의 Channel에 도입하고 최적화된 소자 제조 공정으로 우수한 전기적 특성을 보고하였다.

학부과정 김진아는 “Intense Pulsed Light 어닐링을 이용한 ALD SnO 박막의 전기적 특성 향상 및 고이동도 p-channel 박막 트랜지스터 개발 연구”를 주제로 하여 박막 트랜지스터 저온 제조 공정에 새로운 후처리를 도입함으로써 유연 기판에 대한 적용 가능성을 확인하였다.

▲채명길

▲김진아

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